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芯源微4月25日公告，2023年一季度营收2.88亿元，同比增长56.89%，主要系半导体设备行业景气度持续，公司收入规模持续增长所致；归母净利6597.74万元，同比增长103.55%，主要系报告期内公司销售收入增加及嵌入式软件产品退税到账款增加所致；基本每股收益0.71元。